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系统介绍了超光滑表面的检测、制备技术及其发展,并讨论了抛光过程中的机械化学作用机理。
超精密车床在非球曲面以及超光滑表面的加工中具有广泛应用。
结果表明,这种抛光工艺能获得原子级的超光滑表面。
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